影像測量儀應(yīng)用之微小芯盤片尺寸高精度測量

芯片作為核心競爭產(chǎn)品，只有兩三厘米那么小卻密布了上千萬條線路，每一條走向都整齊有序。傳統(tǒng)的測量技術(shù)很難完成對芯片尺寸的高精度、高效率檢測。影像測量儀基于圖像處理技術(shù)，通過圖像處理快速獲取物體的幾何參數(shù)，再通過軟件分析，完成測量

隨著集成電路的飛速發(fā)展，芯片電線路寬越來越小，?？怂箍祻?fù)合式影響測量儀通過顯微光學(xué)系統(tǒng)放大一定的倍數(shù)，再由圖像傳感器將顯圖像傳送到計(jì)算機(jī)中，之后再進(jìn)行圖像的處理和測量。
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關(guān)鍵詞：影像儀、影像測量儀